Pompë e Levitizuar Magnetikisht, CXF-200/1401E, Ftohje me ujë, Në bord

Pompat molekulare të levituara magnetikisht janë pompat e të cilave boshtimi mbështetet për shkak të forcës magnetike.
Seritë e pompave molekulare të levituara magnetikisht janë pajisje për gjenerimin e vakumit të zhvilluar nga KYKY për të përmbushur kërkesat e aplikimit për fushat e prodhimit modern të gjysmëpërçuesve, prodhimin e çipave, pllakave industriale dhe instrumenteve shkencorë.

Teknologjitë:

• Teknologjia e Kontrollit për Mbajtësin magnetik: Elektromagnetike e adoptuar është një 5-bosht i levituar magnetikisht. Ky dizajn mund të ketë përgjigje dinamike dhe rregullim në kohë me anë të teknologjisë dinamike të kontrollit të pezullimit magnetik të qarkut të mbyllur bazuar në teorinë e avancuar të kontrollit ndërkombëtar, në mënyrë që të garantojë avantazhe të tilla të rëndësishme të boshtit me shpejtësi të lartë si një operacion i qëndrueshëm i levituar dhe i besueshëm.
• Teknologjia e Kontrollit të Drejtimit të Motorit: Motori DC me shpejtësi të lartë dhe sistemi i kontrollit servo zbatohen në seritë e pompave të ngritura magnetikisht, në mënyrë që të kenë energji maksimale të motorit dhe të kompensojnë shpejtësinë rrotulluese të boshtit automatikisht, duke realizuar kështu fillimin e qëndrueshëm, funksionimin e besueshëm dhe rregullimin automatik funksioni i energjisë dinamike.
• Teknologjia e rotorit të përbërë të fibrave të karbonit: Rrotulluesit turbo të pompave molekulare të pezullimit magnetik serik janë bërë duke përzier aliazh alumini me forcë të lartë dhe fibra karboni me peshë të lehtë. Në krahasim me të gjithë rotorët e aliazhit të aluminit, rotorët turbo karakterizohen nga një rënie e madhe e peshës dhe përmirësim i madh i forcës, kështu që arrihen objektiva të shpejtësisë së lartë të rrotullimit, performancë të lartë dhe besueshmëri të lartë.
• Teknologjia rezistente ndaj korrozionit: Sipërfaqet e pjesëve në dhomat e pompave molekulare të pezullimit magnetik serik trajtohen me një proces të veçantë, në mënyrë që sipërfaqet t'i rezistojnë korrozionit të shkaktuar nga gazrat gërryes në proceset e prodhimit të gjysmëpërçuesve për një kohë të gjatë. Për më tepër, gazra të tillë inertë si N2 janë të mbushur plotësisht në boshtin e pompave për të mbrojtur pjesët e ulëta të vakumit në pompa, në mënyrë që të realizohet funksioni i gazrave gërryes në mënyrë të qëndrueshme për periudha të gjata.
• Sistemi i kontrollit të temperaturës së ngrohjes: Seritë e pompave molekulare të levituara magnetikisht janë të pajisura me një ngrohës elektrik dhe një kontrollues të temperaturës, në mënyrë që uji i ftohjes, ngrohja e kockave të ajrit, ngrohja elektrike dhe nxehtësia e transportuar nga gazrat mbrojtës të mund të monitorohen dhe kontrollohen gjatë funksionimit, temperatura në pompa mund të mbahet në disa vlera për një afat të gjatë, disa substanca të gazta nuk shndërrohen në substanca të ngurta në temperaturë normale dhe nuk depozitohen në pompa, dhe kërkesat për procese të veçanta të tilla si gdhendja mund të përmbushen.

Përparësitë:

1. Fërkimi zero gjatë operimit, dhe konsumi i ulët i energjisë

2. Lehtë për të fituar vakum të vërtetë të pastër dhe vakum ultrahigh pa lubrifikim për pompat

3. Aftësia për të nxjerrë gazra gërryes për një afat të gjatë

4. Siguri e lartë dhe jetë e gjatë shërbimi për shkak të mbrojtjes së kushinetave me topa qeramikë të saktë

5. funksioni i gjenerimit të energjisë në rast të fikjes së papritur të energjisë

Specifikimet:

Aplikimet:

Seritë e pompave molekulare të levuara magnetikisht aplikohen kryesisht në fushat e prodhimit të gjysmëpërçuesve, prodhimin e kapëseve, veshjen industriale dhe instrumentet shkencore, veçanërisht në nxjerrjen e gazeve gërryes që ekzistojnë në implantimin etch, CVD, PVD dhe jonet dhe gazrat lehtësisht të koaguluara në temperaturë normale.