Pompë e Levitizuar Magnetikisht, CXF-320/3001E, Ftohje me ujë, ISO-F, Në bord
Pompat molekulare të levituara magnetikisht janë pompat e të cilave boshtimi mbështetet për shkak të forcës magnetike.
Seritë e pompave molekulare të levituara magnetikisht janë pajisje për gjenerimin e vakumit të zhvilluar nga KYKY për të përmbushur kërkesat e aplikimit për fushat e prodhimit modern të gjysmëpërçuesve, prodhimin e çipave, pllakave industriale dhe instrumenteve shkencorë.
Përparësitë:
1. Fërkimi zero gjatë operimit, dhe konsumi i ulët i energjisë
2. Lehtë për të fituar vakum të vërtetë të pastër të lartë dhe vakum ultrahigh pa lubrifikim për pompat
3. I aftë të nxjerrë gazra gërryes për një afat të gjatë
4. Siguri e lartë dhe jetë e gjatë shërbimi për shkak të mbrojtjes së kushinetave me topa qeramike precize
5. funksioni i gjenerimit të energjisë në rast të fikjes së papritur të energjisë
6. Pa fërkime
7. Pa ndotje
8. Pa mirëmbajtje
9. Dridhje e ulët
10. të instaluar në çdo orientim.
Aplikimet:
Seritë e pompave molekulare të levuara magnetikisht aplikohen kryesisht në fushat e prodhimit të gjysmëpërçuesve, prodhimin e kapëseve, veshjen industriale dhe instrumentet shkencore, veçanërisht në nxjerrjen e gazeve gërryes që ekzistojnë në implantimin etch, CVD, PVD dhe jonet dhe gazrat lehtësisht të koaguluara në temperaturë normale.
Specifikimet:
| Model | CXF-320/3001E |
| Shpejtësia e pompës (l/s, ajër) | 3200 |
| Raporti i Kompresimit | > 1 × 108 |
| Vakumi përfundimtar (Pa) | ×5 × 10-7 |
| Fllanxha e hyrjes | ISO-F 320 |
| Fllanxha e daljes | KF 40 |
| Shpejtësia e rrotullimit (rpm) | 24000 |
| Koha e përfundimit (min) | 12 |
| VIB (mm) | <0.05 |
| Pompë mbështetëse (L/s) | 15 |
| Montimi ose ientacioni | Çdo |
| Metoda e ftohjes | Ujë |
| Pesha (kg) (Me kontrollues) | 75 |
Teknologjitë:
- Teknologjia e Kontrollit për Mbajtësin magnetik: një 5-bosht i levituar magnetikisht, bazuar në teorinë e avancuar të kontrollit ndërkombëtar, për të garantuar avantazhe të tilla të rëndësishme të boshtit me shpejtësi të lartë si një operacion i qëndrueshëm i levituar dhe i besueshëm.
- Teknologjia e Kontrollit të Drejtimit të Motorit: Motori DC me shpejtësi të lartë dhe sistemi i kontrollit servo, që kanë energjinë maksimale të motorit dhe për të kompensuar automatikisht shpejtësinë rrotulluese të boshtit, duke realizuar kështu fillimin e qëndrueshëm, funksionimin e besueshëm dhe funksionin automatik rregullues të energjisë dinamike.
- Teknologjia e rotorit të përbërë të fibrave të karbonit: Bërë nga përzierja e aliazhit të aluminit me forcë të lartë dhe fibrave të karbonit me peshë të lehtë. karakterizohet nga ulje e madhe e peshës dhe përmirësim i madh i forcës, në mënyrë që të arrihen objektiva të shpejtësisë së lartë të rrotullimit, performancë të lartë dhe besueshmëri të lartë.
- Teknologjia rezistente ndaj korrozionit: Sipërfaqet e pjesëve në dhoma trajtohen me një proces të veçantë, në mënyrë që sipërfaqet t'i rezistojnë korrozionit të shkaktuar nga gazrat gërryes në proceset e prodhimit të gjysmëpërçuesve për një kohë të gjatë. Për më tepër, gazrat inertë të tillë si N2 janë mbushur plotësisht në boshtin e pompave për të mbrojtur pjesët e ulëta të vakumit në pompa, në mënyrë që të realizohet funksioni i gazeve gërryes në mënyrë të qëndrueshme për periudha të gjata.
- Sistemi i kontrollit të temperaturës së ngrohjes: të pajisura me një ngrohës elektrik dhe një kontrollues të temperaturës, uji ftohës, ngrohja e kockave të ajrit, ngrohja elektrike dhe nxehtësia e bartur nga gazrat mbrojtës mund të monitorohen dhe kontrollohen gjatë funksionimit, temperatura në pompa mund të mbahet në një vlerë për një kohë të gjatë, disa të gazta substancat nuk shndërrohen në substanca të ngurta në temperaturë normale dhe nuk depozitohen në pompa, dhe kërkesat për procese të veçanta të tilla si gdhendja mund të përmbushen.